退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
公开/公告号CN105893645A
专利类型发明专利
公开/公告日2016-08-24
原文格式PDF
申请/专利权人 复旦大学;
申请/专利号CN201410802288.4
发明设计人 曾璇;陆伟成;周海;严昌浩;杨运峰;
申请日2014-12-19
分类号
代理机构上海元一成知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人吴桂琴
地址 200433 上海市邯郸路220号
入库时间 2023-06-19 00:19:23
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-12
授权
2016-10-26
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F17/50 申请日:20141219
实质审查的生效
2016-08-24
公开
机译: 用于多图案光刻的版图分解方法
机译:具有成对着色和自适应多重启动的三图案光刻光刻版图分解
机译:双图案光刻的版图分解方法
机译:具有嵌入的二硫键的有机硅烷单层的形成,表征和50纳米以下的图案化:一种工程化的自组装单层光刻胶,用于电子束光刻
机译:混合电子束和多图案光刻的版图分解协同优化
机译:三重图案光刻的版图分解。
机译:海藻糖糖醇抗性可通过电子束光刻直接写入蛋白质图案
机译:用电子束光刻制造线路图案的制造特性和辊模上的点图案
机译:利用金簇au55p((C6H5)3)12Cl6的电子束光刻技术,通过热分解和直接图案化形成导电金膜。