一种共蒸发制备铜锌锡硫硒薄膜太阳电池吸收层的方法

摘要

本发明涉及一种共蒸发制备铜锌锡硫硒薄膜太阳电池吸收层的方法。本发明属于薄膜太阳电池技术领域。一种共蒸发制备铜锌锡硫硒薄膜太阳电池吸收层的方法，其铜锌锡硫硒薄膜太阳电池为多层结构；制备步骤：1、将镀Mo的衬底放置在共蒸发设备腔室，Cu、ZnS、Sn、Se蒸发源分布蒸发腔室下方；2、将蒸发腔内抽真空至3×10