一种提高场效应晶体管式气体传感器灵敏度的方法

摘要

本发明涉及一种提高场效应晶体管式气体传感器灵敏度的方法，它包括以下步骤：1)制备半导体材料，然后制作场效应晶体管气体传感器；2)把场效应晶体管气体传感器放入气体中；3)通过测试仪获得场效应晶体管气体传感器的转移曲线；4)在场效应晶体管传感器的转移曲线中，通过计算在获得同一浓度气体，不同栅极偏压下，场效应晶体管式气体传感器的灵敏度；5)在相同浓度的气体中，选取场效应晶体管气体传感器的灵敏度最高所对应的栅极偏压，该栅极偏压提高场效应晶体管气体传感器的灵敏度。本发明不用改变场效应晶体管式气体传感器结构，也不需要复杂的工艺流程，就可以提高场效应晶体管式气体传感器的灵敏度。