一种提高离子敏感场效应晶体管灵敏度的方法

摘要

本文通过分析背栅电压和源漏电流的I-V特性来研究灵敏度(背栅电压测量法)。首先介绍了离子敏感场效应晶体管工作原理及灵敏度受限的原因,而后对背栅电压测量法进行了可行性分析,最后通过仿真软件TCAD进行仿真实验,研究了背栅电压测量法所得到的灵敏度大小。结果表明,流体栅压测量法的灵敏度为59.5mV/pH,与能斯特极限基本一致,背栅电压测量方法可以突破能斯特极限,有效地提高器件的灵敏度至209.04mV/pH。