公开/公告号KR20130031585A
专利类型
公开/公告日2013-03-29
原文格式PDF
申请/专利权人 SNU R&DB FOUNDATION;DONGGUK UNIVERSITY INDUSTRY-ACADEMIC COOPERATION FOUNDATION;KOREA UNIVERSITY RESEARCH AND BUSINESS FOUNDATION;
申请/专利号KR20110095252
申请日2011-09-21
分类号G01N27/414;H01L29/78;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 16:27:28