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含两个苯并三氮唑环的缓蚀剂的合成与应用

摘要

含两个苯并三氮唑环的缓蚀剂,其化学结构式如下:

著录项

  • 公开/公告号CN105441958A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-03-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 重庆大学;

    申请/专利号CN201510848902.5

  • 申请日2015-11-27

  • 分类号C23F11/14;C07D249/18;

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 400044 重庆市沙坪坝区沙正街174号

  • 入库时间 2023-12-18 14:59:01

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-07-10

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23F11/14 申请公布日:20160330 申请日:20151127

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2016-04-27

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23F11/14 申请日:20151127

    实质审查的生效

  • 2016-03-30

    公开

    公开

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