具备自滤光功能的硅光电探测器芯片

摘要

一种具备自滤光功能的硅光电探测器芯片，包括探测器芯片，其创新在于：所述探测器芯片的光敏区表面蒸镀有干涉滤光膜层。本发明的有益技术效果是：提供了一种制备自滤光功能的硅光电探测器芯片，采用这种芯片制作出的探测器，具有增强抗亮背景干扰能力。