一种基于微电极阵列的三电极集成电化学传感器

摘要

本发明公开了一种基于微电极阵列的三电极集成电化学传感器，该传感器包括铋膜修饰微电极阵列(金工作电极)，银/氯化银电极(参比电极)，铂电极(对电极)。三电极通过标准MEMS工艺制备，金电极上均匀分布多个等距的圆盘作为微电极阵列。在电化学检测过程中，微电极阵列上发生重金属富集和溶出反应，表面修饰铋膜为了扩大重金属的检测种类和范围。银电极表面电镀氯化银，构成Ag|AgCl参比电极。铂电极作为对电极，与工作电极形成通路。利用差分脉冲溶出伏安法对重金属的浓度进行测定，结果表明该传感器检测灵敏度高，检出限低，信噪比高，并且该传感器操作简便，所需样品量少，可用于重金属的现场快速检测，能够实现对环境污染进行实时高效监测。