一种全新的低成本高效率CIGS电池吸收层制备工艺

摘要

本发明公布一种全新的低成本高效率CIGS电池吸收层制备工艺(二次二步法)，为目前CIGS薄膜太阳能电池产业化困境提供一种解决方案；通过两次溅射硒化和对碱金属的控制，本工艺能精确控制铜和镓的梯度，缩短整体硒化时间，提高大面积均匀性，且设备成本较低；首先用二步法制备一层较厚的无钠富铜CIGS，无钠富铜的环境显著促进了铟和镓的扩散，快速消除铟和镓的微观不均匀性，促使镓扩散到上表面，抑制MoSe2的生成，且结晶良好，这一步对硒化条件要求低、硒化时间短，稳定性高，适合高节拍低成本产业化；然后降温溅射一层较薄的含碱金属的第二预制层(In,Ga)2Se3，再次升温硒化数分钟完成吸收层的制备；碱金属的控制在二次二步法中对转换效率、生产节拍、均匀性、稳定性中均起重要作用。