公开/公告号CN105068388A
专利类型发明专利
公开/公告日2015-11-18
原文格式PDF
申请/专利权人 气体产品与化学公司;
申请/专利号CN201510555647.5
发明设计人 M·I·埃格贝;
申请日2010-08-04
分类号G03F7/42(20060101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人陈长会
地址 美国宾夕法尼亚州
入库时间 2023-12-18 12:16:22
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-06-23
专利申请权的转移 IPC(主分类):G03F7/42 登记生效日:20170605 变更前: 变更后: 申请日:20100804
专利申请权、专利权的转移
2015-12-16
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/42 申请日:20100804
实质审查的生效
2015-11-18
公开
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