公开/公告号CN104955978A
专利类型发明专利
公开/公告日2015-09-30
原文格式PDF
申请/专利权人 阿本戈太阳能新技术公司;
申请/专利号CN201380062194.1
发明设计人 豪尔赫·希尔罗斯彻;维克特·里科加维拉;弗朗西斯科·尤贝罗巴伦西亚;胡安·佩德罗·埃斯皮诺斯曼索罗;阿古斯丁·罗德里格斯冈萨雷斯-埃莉佩;埃米利奥·桑切斯科尔特宗;何塞·玛丽亚·德尔加多桑切斯;
申请日2013-11-27
分类号
代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司;
代理人刘慧
地址 西班牙塞维利亚
入库时间 2023-12-18 11:14:22
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-08-01
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C14/10 申请公布日:20150930 申请日:20131127
发明专利申请公布后的视为撤回
2015-12-02
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/10 申请日:20131127
实质审查的生效
2015-09-30
公开
公开
机译: 在衬底上制备一个单一的阻挡层和/或介电层或多层的方法及其实施装置
机译: 在基板上产生介电和/或阻挡层或多层的方法以及实施所述方法的装置
机译: 在基板上产生介电和/或阻挡层或多层的方法以及实施所述方法的装置