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公开/公告号CN104900513A
专利类型发明专利
公开/公告日2015-09-09
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201510098387.3
发明设计人 V·恩古耶;M·巴尔塞努;N·李;S·D·马库斯;M·沙立;D·汤普森;L-Q·夏;
申请日2015-03-05
分类号H01L21/31(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人徐伟
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-12-18 10:55:13
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-10-27
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/31 申请公布日:20150909 申请日:20150305
发明专利申请公布后的视为撤回
2015-09-09
公开
机译: 原子层沉积硅氮化物膜的原位碳和氧化物掺杂
机译: 将碳和氧化物原位掺杂到原子层沉积硅氮化膜中
机译:Co 9 sub> S 8 sub>纳米粒子在双掺杂氧碳和氮共掺杂多孔碳管上的原位锚固
机译:镍纳米粒子原位修饰聚硅氮烷衍生的纳米多孔氧碳氮化硅陶瓷
机译:薄膜ZnO和ZnO.Al原子层沉积过程中掺杂剂结合,活化和膜生长的原位分析
机译:通过集成的ECR-PECVD和磁控溅射制备铕掺杂氧化硅,氧氮化硅和氮化硅膜的表征
机译:1.通过原位生成的Schwartz试剂(Cp2氯化锆(氢)氯化物)将叔苄酰胺还原为苯甲醛;麦角酸的正式合成。 2. Ru催化的酰胺基芳烃碳氢,碳氮和碳氧键功能化:C-B形成,碳-碳铃木交叉偶联和加氢脱甲氧基化
机译:低温生长的氢化非晶硅氧氮化硅膜的水蒸气降解作用
机译:氮化硅酸盐,氧氮化硅酸盐和碳氮化硅酸盐的光学,磁性和结构性质
机译:在碳化硅,氮化硅,氧化铝和氧化锆上测量金刚石碳膜的拉伸测试附着力