一种测量磁控溅射铝薄膜的力学特性的方法

摘要

一种测量磁控溅射铝薄膜的力学特性的方法，包括：测量出磁控溅射铝薄膜的残余应力σr；进行纳米压痕实验，采用球形压头，利用纳米压痕仪得到磁控溅射铝薄膜在每个最大压深值下的加载卸载的压力-压深曲线；利用Oliver–Pharr模型根据纳米压痕卸载曲线计算磁控溅射铝薄膜/压头的折合模量Er；根据得到的磁控溅射铝薄膜/压头的折合模量Er值计算出铝薄膜的杨氏模量Ef；在各个最大压深情况下利用纳米压痕卸载P－h曲线分别计算出压头与薄膜的接触投影面积a和完全卸载压头后压痕的最终深度hf；在不同最大压深情况下，对A1，A2的值进行最小二乘拟合，计算出磁控溅射铝薄膜的屈服强度σy。