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硬化性树脂组合物、压印用树脂模具、光压印方法、半导体集成电路的制造方法及微细光学元件的制造方法

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本发明的硬化性树脂组合物的特征在于含有式(1)所表示的氟化(甲基)丙烯酸氨基甲酸酯。

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公开/公告号CN104884487A

专利类型发明专利
公开/公告日2015-09-02

原文格式PDF
申请/专利权人东洋合成工业株式会社;
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申请/专利号CN201380068336.5
发明设计人和田理沙;大幸武司;
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申请日2013-12-25
分类号
代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人路勇
地址日本千叶县
入库时间 2023-12-18 10:36:06

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-01-05

授权

授权
2016-01-20

实质审查的生效 IPC(主分类):C08F299/06 申请日:20131225

实质审查的生效
2015-09-02

公开

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