树脂组合物、树脂模具、光压印方法、以及集成电路与光学元件的制造方法

摘要

本发明涉及一种树脂组合物、树脂模具、光压印方法、以及集成电路与光学元件的制造方法。硬化性树脂组合物的特征在于含有式(1)所表示的氟化(甲基)丙烯酸氨基甲酸酯。(式中，R¹、R²、R³及R⁴分别独立地表示氢原子或甲基，x及y分别独立地表示1或2，n表示1至10的整数；其中，在x及y均为1的情况下，R³及R⁴分别表示氢原子，在x为1且y为2的情况下，R³表示氢原子且R⁴表示甲基，在x为2且y为1的情况下，R³表示甲基且R⁴表示氢原子，在x及y均为2的情况下，R³及R⁴分别表示甲基。)