公开/公告号CN104882381A
专利类型发明专利
公开/公告日2015-09-02
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN201510091775.9
申请日2015-02-28
分类号H01L21/336(20060101);H01L21/22(20060101);
代理机构31263 上海胜康律师事务所;
代理人樊英如;李献忠
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-12-18 10:31:17
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-09-30
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/336 申请日:20150228
实质审查的生效
2015-09-02
公开
公开
机译: 用于掺杂3-D IC晶体管鳍状沟道区的ALD帽膜
机译: 用于掺杂3-D IC晶体管鳍状沟道区的ALD帽膜
机译: 用于掺杂翅片形状的3-D IC晶体管的涂层膜的ALD薄膜