法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-02
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01N21/88 申请公布日:20150819 申请日:20150603
发明专利申请公布后的驳回
2015-09-16
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/88 申请日:20150603
实质审查的生效
2015-08-19
公开
公开
机译: 投影曝光系统的照明光学器件,用于制造微或纳米结构部件的极端UV投影光刻技术,具有部分光学器件,设计成使得光以会聚光路入射到分面镜上
机译: 会聚光在显微镜的光路中调整光的波长或波长区域的显微镜光学布置
机译: 一种发光显示装置,其具有用于接收来自发光元件的光并保持该光接收元件的光接收元件,以及用于将驱动光引导至光的光路。