一种高品质因数高质量灵敏度的QCM传感器

摘要

本发明公开了一种高品质因数高质量灵敏度的QCM传感器，采用一种单面带有反台式圆形凹槽的谐振底板，通过增加谐振底板圆形凹槽外围区域(圆环状平台)的质量，同时上金属电极的布局即包括覆盖在圆环状平台表面的圆环状电极以及圆形凹槽表面覆盖的圆形电极，圆环状电极以及圆形电极通过金属导体连通，达到改善能陷效应和能量集中效应，进而提高QCM传感器的品质因数。同时，这样可以通过减小部分有效谐振区域的厚度，达到提高QCM传感器质量灵敏度的目的。