クリーンルーム有機物汚染用QCMセンサ：センサの表面改質による感度の向上

摘要

QCMセンサの高感度化を目的として、電極表面へのシリコン蒸着および表面積増大のための微細加工による表面改質を検討した。その結果、代表的なケミカル汚染物質であるDBPの検出感度を表面改質前に比較して約2倍に向上させることが可能であった。