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摘要
Abstract
第 1 章 绪 论
1.1 课题背景及研究的目的和意义
1.2 微纳光学传感器概况
1.3 光学回音壁微腔及其传感应用研究现状
1.3.1 光学回音壁微腔的发展
1.3.2 光学回音壁微腔耦合机制的研究
1.3.3 光学回音壁微腔传感器研究现状
1.3.4 研究现状分析
1.4 本文的主要研究内容
第 2 章 微盘腔传感器基本理论
2.1 引言
2.2 光学回音壁谐振腔理论
2.2.1 谐振波长
2.2.2 品质因数
2.2.3 模体积
2.2.4 损耗分类
2.3 微腔传感器基本工作原理
2.4 本章小结
第 3 章 片上微纳光学结构综合设计
3.1 引言
3.2 微盘腔与微环腔的光谱特性比较
3.2.1 硅基微盘在蔗糖水溶液中的光谱特性探究
3.2.2 硅基微环光谱特性的实验探究
3.3 端面入射耦合机制的特性探究
3.4 光栅耦合器的参数优化
3.4.1 光栅耦合器耦合效率的仿真计算
3.4.2 光栅耦合器耦合效率的实验验证
3.5 本章小结
第 4 章 微盘腔传感器的制备
4.1 引言
4.2 硅基微盘制备工艺
4.2.1 光刻原理概述
4.2.2 硅基微盘制备流程
4.3 PDMS 微流通道制备方法
4.4 本章小结
第 5 章 微盘传感器的性能测试
5.1 引言
5.2 光学测试系统
5.3 温度传感实验
5.3.1 温度传感实验的基本步骤和注意事项
5.3.2 温度传感实验结果分析
5.4 液体环境折射率传感实验
5.4.1 折射率传感实验的主要内容和实验结果
5.4.2 液体折射率传感的验证和传感器性能综合分析
5.5 本章小结
结 论
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果
哈尔滨工业大学学位论文原创性声明和使用权限
致 谢
