基于电容传感器的多轴支撑气浮平台的调平方法

摘要

基于电容传感器的多轴支撑气浮平台的调平方法，属于光学领域，本发明为解决现有对气浮平台的调节方法对测量环境要求高，应用时局限较大，不能同时达到调节精度高和调节过程复杂程度低的问题。本发明所述调平方法的具体过程为：气源在三个气足的底部充入高压气体，形成气膜面；采用三个电容传感器分别采集三个气足的气膜高度；三个电容传感器分别将采集的气膜高度输出至控制器中；控制器采用神经网络PID控制算法计算控制量；控制量解耦后控制三个气足的调压阀，改变三个气足的出口压力，调整气膜高度，完成调平过程。本发明用于卫星地面仿真中。