法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-03-16
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/285 申请公布日:20150708 申请日:20140103
发明专利申请公布后的视为撤回
2015-08-05
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/285 申请日:20140103
实质审查的生效
2015-07-08
公开
公开
机译: 沉积具有改善的附着力和填充性能的钨层的方法
机译: 能够提高粘合性能和填充性能的钨层沉积方法
机译: 能够提高粘合性能和填充性能的钨层沉积方法