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具有热稳定性及抗辐照损伤的极紫外多层膜

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摘要

本发明公开了一种具有热稳定性及抗辐照损伤的极紫外多层膜，属于极紫外光刻技术领域。解决了现有技术中的极紫外多层膜在长时间的高能量激光辐照和高能光子轰击下，极紫外波段的反射率严重下降的技术问题。本发明的极紫外多层膜，从下至上依次包括基底、周期层、抗辐照损伤层，其中，周期层的周期个数为40-60，每个周期由从下至上依次排列的Si层、第一热稳定层、Mo层、第二热稳定层组成，第一热稳定层和第二热稳定层的材料均为B

著录项

公开/公告号CN104765078A

专利类型发明专利
公开/公告日2015-07-08

原文格式PDF
申请/专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
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申请/专利号CN201510190378.7
发明设计人喻波;王珣;姚舜;靳京城;
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申请日2015-04-21
分类号
代理机构长春菁华专利商标代理事务所;
代理人王丹阳
地址 130033 吉林省长春市东南湖大路3888号
入库时间 2023-12-18 09:43:13

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2016-12-21

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G02B1/10 申请公布日:20150708 申请日:20150421

发明专利申请公布后的视为撤回
2015-08-05

实质审查的生效 IPC(主分类):G02B1/10 申请日:20150421

实质审查的生效
2015-07-08

公开

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