具有极紫外光谱纯度及热稳定性的多层膜

摘要

本发明公开了一种具有极紫外光谱纯度及热稳定性的多层膜，属于极紫外光刻技术领域。解决了现有技术中极紫外多层膜在带外波段的反射率比较高，在高能光子长时间轰击下，极紫外波段的反射率严重下降的技术问题。本发明的多层膜从下至上依次包括基底、周期层、第一光谱纯化层、第一热稳定层、第一Mo层、第二热稳定层、第二光谱纯化层，其中，周期层的周期个数为40-60，每个周期由从下至上依次排列的Si层、第三热稳定层、第二Mo层、第四热稳定层组成。本发明的多层膜能够提高极紫外光刻反射镜系统的成像质量和使用寿命，在极紫外波段的反射率为58％-73.4％，带外波段的反射率能够降低至5％以下。