薄膜厚度在线测量装置及方法

摘要

本发明提供了一种薄膜厚度在线测量装置及其测量方法，包括固定于地面上的机架，机架上方设置有上支座和下支座，上支座和下支座中间留有空隙，两个直线导轨分别安装于上支座和下支座上，伺服电机驱动其中一个导轨上的滑块移动，两直线导轨通过一根同步轴连接，使两直线导轨上的滑块实现同步运动，两滑块上分别设置有激光位移传感器，两个激光位移传感器相对设置，它们发射出的光束重合，本发明还设置有前后两个挑膜机构。本发明测量精度高，速度快，其采用的是非接触的测量方式，不会划伤待测薄膜，本发明设置于薄膜生产线最后一个环节收卷之前，其不影响整个生产流程，在正常的生产过程中完成了测量工作，大大节省了时间并减少劳动强度。