透射式透明薄膜厚度的在线测量

摘要

为满足工业半透明薄膜厚度在线检测的实际需求,提出了一种基于透射式光密度计量法的全场在线测量方法.该方法利用相机采集放置薄膜前后的图像灰度,将其作为入射与出射能量并计算其光密度,再通过比尔-朗伯定律建立光密度与厚度之间的关系.为减小测量误差,采用标准光密度标定板对系统进行标定,对计算的理论光密度进行偏移校正.该系统结构简单,单次测量面积可达100 mm×75 mm;以聚四氟乙烯薄膜为例进行验证,测量的平均误差为5.7%,标准偏差为6.66%,为薄膜厚度全场在线检测提供了新的可行性.