基于ARM920T的薄膜厚度在线测量系统设计

摘要

为解决薄膜生产过程中厚度在线检测问题,以提高产品质量和生产效率,对薄膜厚度在线测量系统进行了研究.基于光学三角法测量原理,以ARM920T为核心处理器、嵌入式Linux为操作系统,构造了系统的软硬件平台,并介绍了系统的硬件组成和软件设计方法.实际生产过程应用表明,该系统能够实现薄膜厚度的在线动态检测和非接触测量,具有高速度、高精度、人机界面友好等特点,在微小厚度变化量的检测领域具有广阔的应用前景.