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可有效减缓贾凡尼效应的刻蚀液

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摘要

本发明是有关于一种可有效减缓贾凡尼效应的刻蚀液，其主要是借由将特定比例的刻蚀剂与含氮五元杂环化合物溶于水而制成的刻蚀液；如此，当使用者应用此刻蚀液对包含至少一个第一金属(例如金)与至少一个第二金属(例如铜)的基板进行湿式刻蚀时，该含氮五元杂环化合物会在具有较高还原电位的第一金属上形成有机护膜，进而有效避免第二金属因受到贾凡尼效应(galvanic effect)的影响而导致过度刻蚀的现象。其中该含氮五元杂环化合物的化学结构是如下列化学式1所示：化学式1

著录项

  • 公开/公告号CN104674222A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2015-06-03

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 芝普企业股份有限公司;

    申请/专利号CN201310616738.6

  • 发明设计人 蔡政颖;廖程楷;徐素斐;

    申请日2013-11-27

  • 分类号

  • 代理机构北京中原华和知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人寿宁

  • 地址 中国台湾桃园县八德市丰成街22号

  • 入库时间 2023-12-18 09:04:05

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-09-05

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23F1/44 申请公布日:20150603 申请日:20131127

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2015-07-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23F1/44 申请日:20131127

    实质审查的生效

  • 2015-06-03

    公开

    公开

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