基于针孔式点衍射干涉仪球面镜曲率半径测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种基于针孔式点衍射干涉仪的球面镜曲率半径测量装置及方法。本发明通过在针孔式点衍射干涉仪装置中，先后于干涉腔中插入两块不同厚度的平行平板，来实现两次定量的离焦。当测试光路中不放置平行平板时，通过移相测量得到波面数据W0，分别放置两个不同厚度的平行平板在测试光路中，通过移相测量得出两个不同的波面W1和波面W2，通过W1和W0的离焦系数之差、W2和W0的离焦系数之差和高斯成像公式，推导出球面反射镜曲率半径的计算公式。本发明采用非接触式的测量方法避免了对球面镜表面的损坏，为大数值孔径球面镜曲率半径的无损伤测量提供了可行的方法，同时适用于大数值孔径球面镜的面形检测。