公开/公告号CN104637863A
专利类型发明专利
公开/公告日2015-05-20
原文格式PDF
申请/专利权人 盛美半导体设备(上海)有限公司;
申请/专利号CN201310567106.5
申请日2013-11-14
分类号
代理机构上海专利商标事务所有限公司;
代理人陆嘉
地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区蔡伦路1690号第4幢
入库时间 2023-12-18 08:44:53
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-28
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L21/768 申请公布日:20150520 申请日:20131114
发明专利申请公布后的驳回
2016-12-14
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/768 申请日:20131114
实质审查的生效
2015-05-20
公开
公开
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