一种用于溶胶凝胶法提拉制膜的衬底清洗方法

摘要

本发明涉及一种用于溶胶凝胶法提拉制膜的衬底清洗方法，其特征在于步骤如下：在室温下，将衬底用洗洁精溶液浸泡、用去离子水浸泡、采用V

说明书

技术领域

本发明涉及一种透明导电薄膜的制备领域，具体涉及用于溶胶凝胶法提拉制膜的 衬底清洗方法。

背景技术

随着透明导电薄膜的技术越来越成熟，特别是ITO玻璃等在光学显示、太阳能电 池、特种玻璃的应用越来越广泛。但不管何种应用，衬底的清洗始终是第一步。目前 的衬底种类有很多，不同的衬底清洗方法也不同。普通的硅酸盐玻璃由于其价格便宜 等各种优点广泛被人们使用，目前的衬底清洗方法步骤较少，可能衬底上仍会附着一 些杂质，从而在沉积成膜的时候对膜最后的质量会有很大的影响。因此研究玻璃衬底 清洗是薄膜制备的第一步。

发明内容

要解决的技术问题

为了避免现有技术的不足之处，本发明提出一种用于溶胶凝胶法提拉制膜的衬底 清洗方法，以满足溶胶凝胶法提拉制膜的要求。

技术方案

一种用于溶胶凝胶法提拉制膜的衬底清洗方法，其特征在于步骤如下：

步骤1：在室温下，将衬底用洗洁精溶液浸泡0.5-1小时，再配合超声清洗7-15 分钟，去除衬底上附着油污后倒掉溶剂；

步骤2：将上一步衬底采用去离子水冲洗两遍去除泡沫后再用去离子水浸泡0.5-1 小时，再配合超声清洗7-15分钟，去除衬底上的吸附离子后倒掉溶剂；

步骤3：将衬底采用V_水：V_盐酸=n：1的稀盐酸溶液浸泡0.5-1小时，再配合超声 清洗7-15分钟，溶解并去除某些难溶杂质后倒掉溶剂；所述10>n>4；

步骤4：将衬底采用丙酮浸泡0.5-1小时，再配合超声清洗7-15分钟，溶解并吸 附的有机物后倒掉溶剂；

步骤5：将衬底用酒精浸泡0.5-1小时，再配合超声清洗7-15分钟，溶解吸附丙 酮后倒掉溶剂。

将得到的衬底在酒精溶液中密封保存。

有益效果

本发明提出的一种用于溶胶凝胶法提拉制膜的衬底清洗方法，针对衬底可能吸附 的各种杂质，采用不同的溶剂清洗，从而对衬底进行彻底的清洗。与现有方法相比， 该方法具有以下优点：

本发明考虑了衬底可能吸附的各种杂质，针对每种杂质采用不同的溶剂从而可以 彻底洗净衬底，从而保证随后沉积过程顺利进行。

另外，本发明中盐酸清洗为首创，以前的衬底清洗均没有考虑衬底吸附的难溶杂 质，实验证明盐酸清洗对难溶物质的作用很大。

附图说明

图1是清洗之前玻璃衬底在100倍显微镜下的图片

图2是清洗之后玻璃衬底在100倍显微镜下的图片

其中a是浸泡0.6小时并配合超声10分钟清洗之后玻璃衬底的图片，

b是浸泡0.6小时并配合超声15分钟清洗之后玻璃衬底的图片，

c是浸泡0.6小时且用V_水：V_盐酸=7：1的稀盐酸溶液清洗之后玻璃衬底的图片

具体实施方式

现结合实施例、附图对本发明作进一步描述：

实施案例1

首先，由于手持等因素，衬底难免会有油污，针对这一点，采用洗洁精溶液浸泡 0.6小时并配合超声10分钟，以去除油污；

第二步，衬底上可能会吸附各种离子杂质，采用去离子水浸泡0.6小时并配合超 声10分钟，以去除离子杂质；

第三步，衬底吸附的某些难溶杂质，仅前两步可能无法清洗，再用V_水：V_盐酸=6： 1的稀盐酸溶液浸泡0.6小时并配合超声10分钟，以去除难溶杂质；

第四步，考虑到某些有机物杂质，用丙酮浸泡0.6小时溶解并配合超声清洗10分 钟，以去除有机杂质；

第五步，对以上步骤中的丙酮，由于其为有毒物质，再用酒精浸泡0.6小时溶解 并配合超声清洗10分钟，以去除丙酮；

最后将衬底至于酒精中保存。

实施案例2

首先，由于手持等因素，衬底难免会有油污，针对这一点，采用洗洁精溶液浸泡1 小时并配合超声15分钟，以去除油污；

第二步，衬底上可能会吸附各种离子杂质，采用去离子水浸泡1小时并配合超声 15分钟，以去除离子杂质；

第三步，衬底吸附的某些难溶杂质，仅前两步可能无法清洗，再用V_水：V_盐酸=6： 1的稀盐酸溶液浸泡1小时并配合超声15分钟，以去除难溶杂质；

第四步，考虑到某些有机物杂质，用丙酮浸泡1小时溶解并配合超声清洗15分钟， 以去除有机杂质；

第五步，对以上步骤中的丙酮，由于其为有毒物质，再用酒精浸泡1小时溶解并 配合超声清洗15分钟，以去除丙酮；

最后将衬底至于酒精中保存。

实施案例3

首先，由于手持等因素，衬底难免会有油污，针对这一点，采用洗洁精溶液浸泡 1小时并配合超声10分钟，以去除油污；

第二步，衬底上可能会吸附各种离子杂质，采用去离子水浸泡1小时并配合超声 10分钟，以去除离子杂质；

第三步，衬底吸附的某些难溶杂质，仅前两步可能无法清洗，再用V_水：V_盐酸=7： 1的稀盐酸溶液浸泡1小时并配合超声10分钟，以去除难溶杂质；

第四步，考虑到某些有机物杂质，用丙酮浸泡1小时溶解并配合超声清洗10分钟， 以去除有机杂质；

第五步，对以上步骤中的丙酮，由于其为有毒物质，再用酒精浸泡1小时溶解并配合 超声清洗10分钟，以去除丙酮

最后将衬底至于酒精中保存。