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基于异质结构吸收、倍增层分离GaN基雪崩光电探测器

摘要

本发明涉及一种光电探测器,尤其涉及一种基于异质结构吸收、倍增层分离GaN基雪崩光电探测器,包括依次层叠的衬底、缓冲层、n型掺杂Al

著录项

  • 公开/公告号CN102820367A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-12-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中山大学;

    申请/专利号CN201210333832.6

  • 发明设计人 江灏;张文乐;

    申请日2012-09-11

  • 分类号H01L31/107;H01L31/0304;

  • 代理机构广州粤高专利商标代理有限公司;

  • 代理人禹小明

  • 地址 510275 广东省广州市新港西路135号

  • 入库时间 2023-12-18 07:36:17

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-12-16

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L31/107 申请公布日:20121212 申请日:20120911

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2013-01-30

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/107 申请日:20120911

    实质审查的生效

  • 2012-12-12

    公开

    公开

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