公开/公告号CN102804397A
专利类型发明专利
公开/公告日2012-11-28
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201080025593.7
申请日2010-06-11
分类号H01L31/042;H01L31/18;
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-12-18 07:31:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-08-26
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L31/042 申请公布日:20121128 申请日:20100611
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-01-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/042 申请日:20100611
实质审查的生效
2012-11-28
公开
公开
机译: 用于微结构控制的薄膜沉积的电离物理气相沉积
机译: 用于微结构控制的薄膜沉积的电离物理气相沉积
机译: 用于微结构控制的薄膜沉积的电离物理气相沉积