YBCO大面积超导薄膜沉积工艺与微结构研究

摘要

采用中空柱状阴极直流磁控溅射方法制备了大面积ＹＢＣＯ 超导薄膜．应用ＸＲＤ 方法，对在３０ ×３０ｍｍ２ＬａＡｌＯ３ 衬底上沉积的ＹＢＣＯ 薄膜进行了结晶完整性、均匀性的测定．对同一样品，使用透射电子显微镜对薄膜和衬底间的界面进行了研究．