用脉冲激光沉积法制备大面积YBCO超导薄膜

摘要

利用自行设计和研制的大面积基片加热装置,采用脉冲激光沉积方法,成功地在φ43mm的LaAlO<,3>衬底上制备出YBCO超导薄膜.薄膜的零电阻温度Tc<'0>为90～92K;77K时临界电流密度Jc=1.2-2.66×10<'6>A/cm<,2>.所研制的加热器恒温区面积大,可使用温度范围为室温-1000℃.可以预期,利用此加热装置可以制备出更大面积的、性能优良的YBCO超导薄膜.