脉冲激光淀积法YBCO超导薄膜的原位制备

摘要

本文对高T_c超导薄膜的原位制备进行了初步的探索,利用脉冲激光淀积法成功地在600℃的衬底上原位制备出零电阻温度T_c(R=0)>84K,ΔT=2K的YBCO超导薄膜。靶材为烧结好的YBa_2Cu_3O_x块材,所用衬底为SrTiO_3(100),薄膜厚度约为1500(?),表面光滑,呈黑色。XRD、SEM结果表明薄膜有明显的垂直于膜面的C轴织构,在零磁场下,临界电流密度Jc(77.5K)>5×10~5A/cm^2。