大面积YBCO超导薄膜沉积工艺

摘要

用大直径中空柱状阴极直流磁控溅射装置，在Φ５１ｍｍＬａＡｌＯ３衬底上制备了ＹＢＣＯ薄膜。利用Ｘ射线衍射、电子通道花样、Φ扫描、扫描电镜对薄膜进行了分析。在５１ｍｍ直径范围内薄膜的零电阻温度Ｔｃ为８８～９０Ｋ。