低温泵控制装置、低温泵系统及低温泵的真空度保持判定方法

摘要

本发明提供一种能够适当地检查低温泵的真空度保持状态的低温泵控制装置、低温泵系统及低温泵的真空度保持判定方法。本发明的低温泵控制装置（80），所述低温泵控制装置控制具备冷却气体并使其冷凝或吸附的低温板（48）及容纳低温板（48）的泵容器（36）的低温泵的排气处理，其中，压力控制部（94）当检测到泵容器（36）内的压力下降至基准压力时停止真空抽取。真空度保持判定部（92）判定在第1测定时刻和第2测定时刻的泵容器（36）内的压力测定值之差是否在压力变化容许范围内。第1测定时刻通过对检测到泵容器（36）内的压力下降至基准压力的时刻和与真空抽取的动作延迟有关的校正时间进行加法运算来确定。

说明书

本申请主张基于2011年6月3日申请的日本专利申请第2011-125529 号的优先权。其申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

技术领域

本发明涉及一种真空技术，尤其涉及一种低温泵控制装置、低温泵系 统及低温泵的真空度保持判定方法。

背景技术

低温泵为实现清洁的高真空环境的真空泵，例如为了将在半导体电路 制造工艺中使用的真空腔室保持为高真空而利用。低温泵通过用由制冷机 冷却为超低温的低温板使气体分子冷凝或吸附而积存来从真空腔室排出气 体。

若低温板被冷凝成固体的气体覆盖或者气体吸附至接近低温板的吸附 剂的最大吸附量，则低温泵的排气能力下降，因此适当地实施再生处理。

在再生处理中，使提高低温板的温度而积存的气体液化或气化而从低 温板排气之后，对低温泵进行真空抽取并判定真空度保持状态。之后，将 低温板冷却至超低温，可再使用低温泵。

专利文献1中公开有如下方法，即为了判断在再生处理中气体是否充 分脱离，对低温泵内进行粗抽，真空度达到预定值而停止粗抽之后，检查 低温泵内的压力上升比率。

在该方法中，若压力上升比率为预定值以下，则判断为气体脱离已充 分进行，并重新开始低温泵的冷却运行。

专利文献1：日本特开平5-99139号公报

通常，在再生处理中检查低温泵内的真空度保持状态时，首先真空抽 取至作为目标压力级别的基准压力，检测到下降至基准压力时停止真空抽 取。而且，在经过预定的真空保持检查时间时再次测定低温泵内的压力， 若距基准压力的上升幅度在可容许的范围内，则判断为充分保持真空度。

该方法中，比较停止真空抽取时以及真空保持检查时间经过时的2个 压力值，由此检查实际上停止真空抽取之后的压力的上升速度。压力上升 速度较大时，可以说真空度保持状态并不良好。

然而，在低温泵内压力下降至基准压力开始至实际上停止真空抽取为 止，生成因压力检测或通信、阀动作等引起的时滞，所以实际上认为，低 温泵内压力暂且真空抽取至低于基准压力的压力。于是，即使在压力上升 速度较大且真空度保持状态不佳时，压力上升也从低于基准压力的压力开 始，因此若以距基准压力的上升幅度的观点判断真空保持检查时间经过时 的压力测定值，则有时会成为容许范围内的值。

这样，本发明人认识到在上述方法中存在真空度保持状态的判定不正 确的情况。

发明内容

本发明是鉴于这种情况而完成的，其目的在于提供一种能够适当地检 查低温泵的真空度保持状态的低温泵控制装置、低温泵系统及低温泵的真 空度保持判定方法。

为了解决上述课题，本发明的一种方式的低温泵控制装置控制低温泵 的排气处理，所述低温泵具备冷却气体而使该气体冷凝或吸附的低温板及 容纳所述低温板的泵容器，所述低温泵控制装置具备：压力控制部，当检 测到所述泵容器内的压力下降至基准压力时停止真空抽取；时刻管理部， 确定第1测定时刻及该第1测定时刻之后的第2测定时刻；及真空度保持 判定部，判定在第1测定时刻和第2测定时刻的所述泵容器内的压力测定 值之差是否在压力变化容许范围内。第1测定时刻通过对检测到所述泵容 器内的压力下降至基准压力的时刻和与真空抽取的动作延迟有关的校正时 间进行加法运算来确定。

根据该方式，例如能够在再生处理中的排气处理中反映因低温泵动作 等引起的延迟来判定低温泵内的真空度保持状态。

本发明的另一方式为低温泵系统。该低温泵系统具备：多个低温泵， 分别具备冷却气体而使该气体冷凝或吸附的低温板及容纳所述低温板的泵 容器；粗抽泵，对所述泵容器内进行真空抽取；及控制装置，控制所述多 个低温泵的排气处理，所述控制装置对于排气处理中的低温泵分别具备： 压力控制部，当检测到所述泵容器内的压力下降至基准压力时停止真空抽 取；时刻管理部，确定第1测定时刻及该第1测定时刻之后的第2测定时 刻；及真空度保持判定部，判定在第1测定时刻和第2测定时刻的所述泵 容器内的压力测定值之差是否在压力变化容许范围内。第1测定时刻通过 对检测到所述泵容器内的压力下降至基准压力的时刻和与真空抽取的动作 延迟有关的校正时间进行加法运算来确定。

本发明的另一其他方式为真空度保持判定方法。该方法为低温泵的真 空度保持判定方法，所述低温泵具备冷却气体而使该气体冷凝或吸附的低 温板及容纳所述低温板的泵容器，所述真空度保持判定方法包括：当检测 到所述泵容器内的压力下降至基准压力时命令停止真空抽取的步骤；确定 第1测定时刻及该第1测定时刻之后的第2测定时刻的步骤；及判定在第1 测定时刻和第2测定时刻的所述泵容器内的压力测定值之差是否在压力变 化容许范围内的步骤。第1测定时刻通过对检测到所述泵容器内的压力下 降至基准压力的时刻和与真空抽取的动作延迟有关的校正时间进行加法运 算来确定。

另外，对以上构成要件进行任意组合并在方法、装置、系统、记录介 质、计算机程序等之间转换本发明的表现的方式也作为本发明的方式而有 效。

发明效果：

根据本发明，能够适当地判定低温泵的真空度保持状态。

附图说明

图1是表示实施方式所涉及的低温泵的再生处理及启动处理的图。

图2是示意地表示实施方式所涉及的低温泵系统的图。

图3是表示低温泵的再生处理的排气处理中的第1测定时刻的确定方 法的例子的图。

图4是表示低温泵的再生处理及之后的启动处理的图。

图5是表示低温泵的再生处理的排气处理的详细内容的图。

图6是表示低温泵系统的变形例的图。

图中：5-排气处理，10-低温泵，36-泵容器，48-低温板，53-真空度保 持判定，70-粗抽泵，80-低温泵控制装置，88-时刻管理部，92-真空度保持 判定部，94-压力控制部，100-低温泵系统。

具体实施方式

首先，对实施方式的概要进行说明。

图1表示实施方式所涉及的低温泵的再生处理1及启动处理2。

再生处理1包含：升温处理3，使积存在低温泵内的气体液化或气化； 吹扫处理，为了促进冷凝或吸附于低温板上的气体的脱离而导入氮等吹扫 用气体（以下，还称为“吹扫气体”）；及排气处理5，向低温泵的外部排出 吹扫气体或再气化的气体。吹扫处理中有作为原则应每次实施的基本吹扫 处理4及之后根据需要实施的追加吹扫处理6。

当判断为各处理之后的状态不满足基准时，反复实施相同的处理或实 施追加处理。在图1中，用虚线表示的处理仅在必要时实施。

基本吹扫处理4及追加吹扫处理6之后分别实施排气处理5。排气处理 5包含：粗抽工序51，对低温泵内进行真空抽取；真空到达时间判定52， 判定在开始真空抽取后是否在预定时间内真空抽取至基准压力；及真空度 保持判定53，判定从真空抽取停止至经过预定时间之后的压力上升值是否 在容许范围内。真空度保持判定53的结果，当判断为需要进一步的排气处 理5时，反复实施排气处理5。

在图1的例子中，在基本吹扫处理4之后实施排气处理5a及5b，在追 加吹扫处理6之后实施排气处理5c。在本说明书中，将各个排气处理5a～ 5c简单地统称为“排气处理5”。

若排气处理5结束则再生处理1结束，经过包含低温板的冷却处理7 的启动处理2，可再次使用低温泵。

实施方式所涉及的低温泵控制装置实施排气处理5中的真空度保持判 定53。该低温泵控制装置中，与检测到低温泵的压力下降至预定基准压力 的时刻另行确定开始真空度保持判定53的时刻，将其时刻的压力测定值作 为用于真空度保持判定53的初始值，与基准压力另行确定。

而且，对开始真空到达时间判定52后经过预定的真空保持检查时间之 后的压力测定值和初始值进行比较来判定真空度保持状态。

以下，进行具体说明。

图2示意地表示实施方式所涉及的低温泵系统100。低温泵系统100具 备低温泵10、压缩机34、吹扫气体供给装置60、粗抽泵70及低温泵控制 装置80。低温泵10安装于例如离子注入装置或溅射装置等真空装置的真空 腔室，并为了将真空腔室内部的真空度提高至所希望的工艺所需的级别而 使用。

低温泵10包含泵容器36、放射屏蔽件44、低温板48及制冷机20。

制冷机20为例如吉福德-麦克马洪式制冷机（所谓GM制冷机）等制 冷机。制冷机20具备第1缸22、第2缸24、第1冷却台26、第2冷却台 28及阀驱动马达30。第1缸22与第2缸24串联连接。在第1缸22的与 第2缸24的结合部侧设置第1冷却台26，在第2缸24的远离第1缸22的 侧端设置第2冷却台28。图1所示的制冷机20为2级式制冷机，将缸串联 地进行2级组合来实现更低的温度。制冷机20通过制冷剂管32连接于压 缩机34。

压缩机34压缩氦等制冷剂气体即工作气体，通过制冷剂管32供给至 制冷机20。制冷机20根据使工作气体通过蓄冷器来进行冷却，并且使其首 先在第1缸22内部的膨胀室膨胀，其次在第2缸24内部的膨胀室膨胀， 由此进一步进行冷却。蓄冷器组装于膨胀室内部。由此，设置于第1缸22 的第1冷却台26冷却为第1冷却温度级别，而设置于第2缸24的第2冷 却台28冷却为低于第1冷却温度级别的第2冷却温度级别。例如，第1冷 却台26冷却为65K～100K左右，而第2冷却台28冷却为10K～20K左右。

通过在膨胀室依次膨胀来吸热且对各冷却台进行冷却的工作气体再次 通过蓄冷器并经由制冷剂管32返回至压缩机34。从压缩机34向制冷机20 并且从制冷机20向压缩机34的工作气体的流动可通过制冷机20内的回转 阀（未图示）切换。阀驱动马达30从外部电源接受电力供给并旋转回转阀。

泵容器36具有形成为一端具有开口且另一端闭塞的圆筒形状的部位 （以下称为“胴部”）38。作为泵容器36的开口的泵口42接收应从连接低温 泵的真空装置的真空腔室排气的气体。泵口42由泵容器36的胴部38的上 端部内表面划分。

在泵容器36的胴部38的上端朝向径向外侧延伸有安装法兰40。低温 泵10利用安装法兰40通过未图示的闸阀安装于真空装置的真空腔室。

泵容器36隔开低温泵10的内部和外部。泵容器36的内部气密地保持 为共同的压力。由此，泵容器36在低温泵10的排气运行期间作为真空容 器发挥作用。由于泵容器36的外表面在低温泵10动作时，即在制冷机进 行冷却工作期间也暴露于低温泵10外部的环境中，因此维持高于放射屏蔽 件44的温度。泵容器36的温度典型地维持环境温度。

泵容器36的内部设置有压力传感器50。压力传感器50定期性地或者 以接受命令的时机测定泵容器36的内部压力，并将表示测定压力的信号发 送至低温泵控制装置80。压力传感器50和低温泵控制装置80可通信地连 接。

压力传感器50具有包含通过低温泵10实现的较高的真空级别和大气 压级别双方的较宽的测量范围。将至少能够在再生处理1期间产生的压力 范围包含于测量范围内。另外，真空级别的测定用压力传感器和大气压级 别的测定用压力传感器可分别设置于低温泵10。

放射屏蔽件44配设于泵容器36的内部。放射屏蔽件44为一端具有开 口且另一端闭塞的圆筒形状，即杯形状。泵容器36的胴部38及放射屏蔽 件44均为大致圆筒状，并配设于同轴。泵容器36的胴部38的内径稍微大 于放射屏蔽件44的外径，放射屏蔽件44在与泵容器36的胴部38的内表 面之间保持若干间隔而以与泵容器36非接触的状态配置。即，放射屏蔽件 44的外表面与泵容器36的内表面对置。

放射屏蔽件44作为主要从来自泵容器36的辐射热保护第2冷却台28 及热连接于该第2冷却台的低温板48的放射屏蔽件设置。第2冷却台28 在放射屏蔽件44的内部配置于放射屏蔽件44的大致中心轴上。放射屏蔽 件44以热连接的状态固定于第1冷却台26，被冷却为和第1冷却台26相 同程度的温度。

低温板48包含例如各自具有圆锥台侧面形状的多个板。低温板48热 连接于第2冷却台28。低温板48的各板的背面即远离泵口42的一侧的面 上通常粘结有活性碳等吸附剂（未图示）。

为了从来自真空腔室等的辐射热保护第2冷却台28及热连接于该第2 冷却台的低温板48，在放射屏蔽件44的开口侧的端部上设置有挡板46。 挡板46例如形成为百叶窗结构或人字形结构。挡板46热连接于放射屏蔽 件44，被冷却为和放射屏蔽件44相同程度的温度。

低温泵控制装置80根据第1冷却台26或第2冷却台28的冷却温度控 制制冷机20。因此，在第1冷却台26或第2冷却台28可设置有温度传感 器（未图示）。低温泵控制装置80可通过控制阀驱动马达30的运行频率来 控制冷却温度。低温泵控制装置80还控制后述的各阀。

泵容器36和粗抽泵70由粗排气管74连接。在粗排气管74上设置粗 阀72。通过低温泵控制装置80控制粗阀72的开闭，导通或截断粗抽泵70 与低温泵10。

粗抽泵70例如作为用低温泵开始排气前的准备阶段而为了对泵容器36 内进行粗略的真空抽取使用。

打开粗阀72且使粗抽泵70动作，由此能够通过粗抽泵70对泵容器36 的内部进行真空抽取。

泵容器36和供给例如氮气等吹扫用气体的吹扫气体供给装置60由吹 扫气体导入管64连接。在吹扫气体导入管64上设置放气阀62。通过低温 泵控制装置80控制放气阀62的开闭。通过放气阀62的开闭控制吹扫气体 向低温泵10的供给。

泵容器36可以与作为所谓的安全阀发挥作用的通气阀（未图示）连接。 并且，粗阀72及放气阀62可分别设置于泵容器36的与粗排气管74或吹 扫气体导入管64连接的部分。

在开始低温泵10的排气运行时，首先，在其工作之前通过粗阀72用 粗抽泵70将泵容器36的内部粗抽至1Pa左右。压力通过压力传感器50测 定。之后，使低温泵10工作。在基于低温泵控制装置80的控制下，通过 制冷机20的驱动冷却第1冷却台26及第2冷却台28，与这些热连接的放 射屏蔽件44、挡板46及低温板48也被冷却。

被冷却的挡板46冷却从真空腔室朝向低温泵10内部飞来的气体分子， 使在该冷却温度下蒸气压充分变低的气体（例如水分等）冷凝在表面。在 挡板46的冷却温度下蒸气压不会充分变低的气体通过挡板46进入放射屏 蔽件44内部。进入的气体分子中在低温板48的冷却温度下蒸气压充分变 低的气体冷凝在低温板48的表面。在该冷却温度下蒸气压也未充分变低的 气体（例如氢等）通过粘结于低温板48的表面并冷却的吸附剂吸附。这样， 低温泵10使安装端的真空腔室的真空度达到所希望的级别。

在开始排气运行后经过预定时间时或发现因排气的气体层叠在低温板 48上而排气能力下降时，进行低温泵10的再生处理1。

低温泵10的再生处理1通过低温泵控制装置80控制。

低温泵控制装置80具备升温处理控制部82、吹扫处理控制部84及排 气处理控制部86。

在开始低温泵10的再生处理1时，升温处理控制部82停止制冷机20 的冷却运行，并开始升温运行。升温处理控制部82使制冷机20内的回转 阀与冷却运行时相反旋转，并使工作气体的吸排气的时机变得不同，以使 工作气体产生绝热压缩。以这样得到的压缩热加热低温板48。

升温处理控制部82从设置于低温泵10内的温度传感器（未图示）取 得泵容器36内的温度的测定值，达到再生温度时结束升温处理3。

吹扫处理控制部84切换放气阀62和粗阀72的开闭，实施基本吹扫处 理4，以及在必要时实施追加吹扫处理6。在基本吹扫处理4及追加吹扫处 理6中，可以仅实施1次将吹扫气体导入泵容器36内的气体吹扫工序，也 可以隔着排出低温泵10内气体的粗抽工序实施多次气体吹扫工序。

吹扫处理结束后，排气处理控制部86进行排气处理5。

排气处理控制部86具备时刻管理部88、真空到达时间判定部90、真 空度保持判定部92及压力控制部94。

压力控制部94打开粗阀72来开始基于粗抽泵70的抽泵容器36内的 真空抽取。压力控制部94从压力传感器50取得泵容器36内部的压力测定 值。真空到达时间判定部90判定在开始真空抽取后是否在预定的真空度到 达测量时间内真空抽取至基准压力。

基准压力为例如可开始低温泵10的启动处理2的压力，此时为1～50Pa 左右。

当在真空度到达测量时间内取得基准压力以下的压力测定值时，真空 到达时间判定部90判定为满足真空度到达时间基准，压力控制部94关闭 粗阀72并停止真空抽取。

另一方面，经过真空度到达测量时间之后，泵容器36内部的压力测定 值仍高于基准压力时，真空到达时间判定部90判定为不满足真空度到达时 间基准，吹扫处理控制部84实施追加吹扫处理6。

当满足真空度到达时间基准时，接着实施真空度保持判定53。

时刻管理部88确定测定用于真空度保持判定的压力值的第1测定时刻 及第2测定时刻。

第1测定时刻以如下方式确定，即在排气处理5中压力控制部94首次 检测到基准压力以下的压力测定值的时刻加上与真空抽取的动作延迟有关 的校正时间来使其接近实际上停止真空抽取的时刻。

与真空抽取的动作延迟有关的校正时间为用于使第1测定时刻接近实 际上进行真空抽取的时刻而加上的时间，例如为1～5秒。与真空抽取的动 作延迟有关的校正时间校正基于真空到达时间判定部90的判定、基于压力 控制部94的真空抽取停止命令及粗阀72的动作等从检测到向基准压力下 降至真空抽取停止期间的动作所需的预计的时间量。由于根据设备种类或 连接状况、配置等而不同，因此也可通过经验法则或实验确定。

时刻管理部88在第1测定时刻加上真空保持检查时间来求出第2测定 时刻。真空保持检查时间为，在真空度保持判定53为了在基于再生处理的 气体的脱离不充分时检测较大的压力差而所需的时间，例如为1～10分钟 左右。由于最佳真空保持检查时间也根据基准压力或设备种类而不同，因 此也可通过经验法则或实验确定。

第1测定时刻可作为在压力控制部94停止真空抽取之后测定到多次取 得的泵容器36内的压力测定值中极小的压力值的时刻来确定。此时，从压 力控制部94检测到基准压力以下的压力测定值的时刻至第1测定时刻为与 真空抽取的动作延迟有关的校正时间。

图3表示第1测定时刻的确定方法的例子。图3的横轴表示时刻，纵 轴表示泵容器36内的压力。

在时刻T0压力测定值a1成为基准压力以下P0之后，以一定时间间隔 取得a2至a5的共4次泵容器36内的压力值。

当某一压力测定值小于其前后的测定值时，时刻管理部88将其测定值 的测定时刻确定为第1测定时刻。

即，若以a（i）表示第i个压力测定值，则当以下两式成立时，

a（n）-a（n-1）＜0    （式1）

a（n+1）-a（n）＞0    （式2）

判定a（n）为极小值，将压力值a（n）的测定时刻确定为第1测定时 刻。其中，n为2以上的自然数。

除了（式1）、（式2）的成立以外，还可以以（式3）的成立为条件， 将压力值a（n）的测定时刻确定为第1测定时刻。

a（n+2）-a（n+1）＞0    （式3）

由此，能够去除因测定误差等而暂时成为极小的情况等干扰而更准确 地检测压力成为极小的时刻。

此时，可以以a（n+1）-a（n）为0以上来代替（式2）作为条件。由 此，即使在相邻的测定值成为相同值的情况下，也能够检测压力成为极小 的部分。

另外，当a（n+1）-a（n）为0时，可将压力值a（n）的测定时刻与压 力值a（n+1）的测定时刻的中间时刻确定为第1测定时刻。由此，能够进 一步准确地判定真空度保持状态。

在图3中，a3-a2＜0、a4-a3＞0、a5-a4＞0成立，因此时刻管理部88 将压力值a3设为最小值，将测定到压力值a3的时刻T1确定为第1测定时 刻。此时，时间T1-T0为与真空抽取的动作延迟有关的校正时间。

另外，如图3中用虚线所示，可利用所取得的多个压力测定值，例如 根据最小平方法求出拟合且适当的2次函数等函数，并将其函数成为极小 值的时刻确定为第1测定时刻。由此，例如在压力测定值细微地变动时等 难以通过相邻的测定值的比较决定极小值时，也能够预计压力成为极小的 时刻来确定第1测定时刻。

压力控制部94从压力传感器50取得第1测定时刻及第2测定时刻的 泵容器36内部的压力测定值。

真空度保持判定53判定第1测定时刻和第2测定时刻的压力测定值之 差是否在压力变化容许范围内。图3的例子中，判定第1测定时刻T1的压 力测定值a3与第2测定时刻T2的压力测定值a6之差是否在压力变化容许 范围内。

压力变化容许范围为，在真空度保持判定53中能够排除再生处理中的 气体脱离不充分的可能性或存在泄漏的可能性的压力变化范围，例如为1～ 50Pa的范围。由于最佳压力变化容许范围还根据基准压力或设备种类而不 同，因此也可通过经验法则或实验确定。

当第1测定时刻和第2测定时刻的压力测定值之差在压力变化容许范 围内时，真空度保持判定部92判定为满足真空度保持基准，并结束排气处 理5。若排气处理5结束，则再生处理1结束，开始低温泵10的启动处理 2的冷却处理7。

在真空度保持判定53中，当第1测定时刻和第2测定时刻的压力测定 值之差超过压力变化容许范围时，真空度保持判定部92判定为不满足真空 度保持基准。此时，再次实施排气处理5。

吹扫处理控制部84决定是否进行追加吹扫处理6。具体而言，当连续 实施排气处理5的次数即排气处理连续实施次数达到事前设定的需追加吹 扫基准次数时，吹扫处理控制部84决定实施追加吹扫处理6。

实施基本吹扫处理4及排气处理5之后，低温板48上仍附着有少量残 留气体时，能够通过多次反复排气处理5来将残留的气体排出至低温泵10 外。

然而，残留在低温板48上的气体量较多或者以很难脱离的状态附着时， 实施1次追加吹扫处理6有时比多次反复进行排气处理5更能迅速排出残 留气体。

需追加吹扫基准次数以再生处理1所需的时间的平均变得更短的方式 确定。例如，需追加吹扫基准次数确定在1～20次的范围内。

由于最佳需追加吹扫基准次数根据低温泵10的使用条件及排气的气体 种类等而不同，因此也可通过经验法则或实验确定需追加吹扫基准次数。

基于以上结构的动作为如下。

图4表示实施方式所涉及的低温泵10的再生处理1及之后的启动处理 2。

首先，升温处理控制部82实施升温处理3（S10），接着吹扫处理控制 部84实施基本吹扫处理4（S12）。

之后，排气处理控制部86实施排气处理5。排气处理5包含对低温泵 10进行真空抽取的粗抽工序（S14）和通过真空到达时间判定52及真空度 保持判定53判定排气处理5是否完成的真空度条件判定（S16）。当不满足 真空度条件时（S16的否），吹扫处理控制部84实施追加吹扫处理6（S20）。 并且，再次实施排气处理5（S14及S16）。

当满足真空度条件时（S16的是），排气处理5结束。并且，制冷机20 开始冷却运行，并再冷却低温板48（S18）。若冷却处理7完成，则可重新 开始低温泵10的真空排气运行。

图5表示实施方式所涉及的低温泵10的再生处理1的排气处理5的详 细内容。

压力控制部94为了将吹扫气体或通过吹扫处理再气化的气体排出至低 温泵10的外部而打开粗阀72，并通过粗抽泵70开始泵容器36内的真空抽 取（S30）。

真空到达时间判定部90进行判定在开始真空抽取后是否在预定的真空 度到达测量时间内真空抽取至基准压力的真空到达时间判定52（S32）。

当真空到达时间判定部90判定为不满足真空度到达时间基准时（S32 的否），吹扫处理控制部84实施追加吹扫处理6（图4的S20）。当真空到 达时间判定部90判定为满足真空度到达时间基准时（S32的是），压力控制 部94关闭粗阀72来停止真空抽取（S34）。

接着，实施真空度保持判定53。

时刻管理部88确定测定用于真空度保持判定53的压力值的第1测定 时刻和第2测定时刻（S36）。压力控制部94取得第1测定时刻和第2测定 时刻的泵容器36内的压力测定值（S38），真空度保持判定部92判定这些 压力测定值之差是否在压力变化容许范围内（S40）。

当超过压力变化容许范围时，真空度保持判定部92判定为不满足真空 度保持基准（S40的否）。此时，吹扫处理控制部84根据排气处理5的连续 实施次数决定是否进行追加吹扫处理6（S42）。

当排气处理5的连续实施次数未达到需追加吹扫基准次数时（S42的 否），吹扫处理控制部84决定不实施追加吹扫处理6，排气处理控制部86 再次实施排气处理5（S30）。

另一方面，当排气处理5的连续实施次数达到需追加吹扫基准次数时 （S42的是），吹扫处理控制部84实施追加吹扫处理6（S20）。

当真空度保持判定部92判定为满足真空度保持基准时（S40的是），排 气处理控制部86结束排气处理5。由此，再生处理1结束，并实施低温泵 10的启动处理2的冷却处理7（图4的S18）。

这样，根据本实施方式，能够校正因压力检测或通信、阀动作等引起 的时滞来更准确地实施真空度保持判定53。

另外，本发明还可通过以下方法实现。

一种压力变化判定方法，其判定具备冷却气体而使其冷凝或吸附的低 温板及容纳所述低温板的泵容器的低温泵的泵容器内的压力变化是否在容 许范围内，其特征在于，采用真空抽取停止后进一步下降的压力作为成为 用于观察压力变化的基准的压力的初始值，而不是采用使真空抽取停止的 目标压力。

以上，根据实施方式对本发明进行了说明。本领域技术人员可理解本 发明并不限定于上述实施方式，可进行各种设计变更，并能够实现各种各 样的变形例，且这种变形例也在本发明的范围内。

另外，在实施方式中，对低温泵控制装置80控制在1台低温泵10的 再生处理中的排气处理5的例子进行了说明，低温泵控制装置80也可以控 制多个低温泵10的排气处理5。

图6表示低温泵系统100的变形例。对于已经叙述的构成要件在图6 中也附加相同的符号，并省略说明。

低温泵系统100具备多个低温泵10、低温泵控制装置80及粗抽泵70。 多个低温泵10与粗抽泵70由粗排气管74连接。

低温泵控制装置80和低温泵10通过电缆或企业网、局域网（LAN）、 广域网（WAN）、虚拟专用网络（VPN）、互联网等网络110可通信地连接。

在图6的低温泵系统100中，压力控制部94控制各低温泵10的粗阀 72，每次打开1台低温泵10的粗阀72，由此通过粗抽泵70对该低温泵10 进行真空抽取。

各低温泵10的基于粗抽泵70的有效排气速度根据粗抽泵70的排气能 力、在粗排气管74内流动的气体的电导等确定。尤其在低压力下，配管长 度或配管直径对有效排气速度的影响较大。

具体而言，已知越是与粗抽泵70之间的配管长度较短的低温泵10，基 于粗抽泵70的有效排气速度越变大，认为在排气处理5中从基准压力检测 至真空抽取停止的时滞期间，其泵容器36内的压力真空抽取至低于另一低 温泵10的压力。

认为，如以往采用基准压力作为真空度保持判定53时的压力初始值时， 对与粗抽泵70之间的配管长度较短的低温泵10误判定的事例尤其增多。

本实施例所涉及的低温泵控制装置80对各低温泵10实施已经叙述的 排气处理5。

时刻管理部88对各低温泵10分别确定与真空抽取的动作延迟有关的 校正时间、第1测定时刻及第2测定时刻。

由此，在具备多个低温泵10的低温泵系统100中，能够反映配置等根 据各低温泵10而不同的条件来更准确地实施真空度保持判定53。