一种复眼结构微透镜阵列的微纳制备方法

摘要

一种复眼结构微透镜阵列的微纳制备方法，将用于制备微透镜阵列模板的硬质材料固定在三维精密位移台上，使超短脉冲激光作用于材料表面，烧蚀出所需的弹坑阵列；将烧蚀出弹坑阵列的硬质材料置于氢氟酸稀释液中进行腐蚀，采用平面浇铸工艺将PMMA氯仿溶液均匀涂覆在模板表面，自然干燥固化；将小球加热，用球冠对PMMA薄膜的背面进行均匀挤压，直到薄膜包覆住半球，形成半球壳状结构，即可得到复眼结构微透镜阵列；本发明实现了复眼结构微透镜阵列的高重复性、低成本批量生产，同时相关参数灵活可调。