首页> 中国专利> 用于在玻璃衬底上制造集成无源器件的方法

用于在玻璃衬底上制造集成无源器件的方法

摘要

一种方法,包括:在半导体衬底的上方形成多个介电层;并且在该多个介电层中形成集成无源器件。然后,从该多个介电层中去除半导体衬底。将电介质衬底接合在多个介电层上。本发明还公开了一种用于在玻璃衬底上制造集成无源器件的方法。

著录项

  • 公开/公告号CN102623381A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-08-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 台湾积体电路制造股份有限公司;

    申请/专利号CN201210020310.0

  • 发明设计人 陈文昭;毛明瑞;杨士贤;蔡冠智;

    申请日2012-01-19

  • 分类号H01L21/70;

  • 代理机构北京德恒律师事务所;

  • 代理人陆鑫

  • 地址 中国台湾新竹

  • 入库时间 2023-12-18 06:20:22

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-02-25

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/70 申请公布日:20120801 申请日:20120119

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2012-09-26

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/70 申请日:20120119

    实质审查的生效

  • 2012-08-01

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号