点样仪的双闭环反馈定位控制系统及控制方法

摘要

本发明涉及一种点样仪的双闭环反馈定位控制系统及控制方法，由内环反馈补偿系统及外环反馈补偿系统构成，由内环反馈补偿系统作点样针的初步定位校正，由外环反馈补偿系统对点样针定位作校正补偿，消除了点样针的定位误差，提高点样仪点样针的定位精度，提高点样基片微阵列的规整度，点样效果的归一性较好；同时，双闭环反馈定位控制确保定位判断的成功，提高了系统的运行稳定性、可靠性。