公开/公告号CN102608863A
专利类型发明专利
公开/公告日2012-07-25
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN201110027351.8
申请日2011-01-25
分类号G03F7/00;
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人宋焰琴
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2023-12-18 06:17:12
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-01-15
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F7/00 申请公布日:20120725 申请日:20110125
发明专利申请公布后的视为撤回
2012-09-26
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/00 申请日:20110125
实质审查的生效
2012-07-25
公开
公开
机译: 制备衍射光学元件的方法,以及用于制造衍射光学元件的模具,以及由制造衍射光学元件的方法和光学系统制造的衍射光学元件,以及应用该衍射方法的光学装置和装置,
机译: -根据这样的衍射光学元件中的任一个的制备衍射光学元件的方法,具有这种衍射光学元件的照明光学器件,-具有这种透镜系统的微光刻投影曝光设备,用于制造具有该光学系统的微电子部件的方法。使用这种投影曝光设备以及通过该方法生产的这种组件
机译: -根据这样的衍射光学元件中的任一个的制备衍射光学元件的方法,具有这种衍射光学元件的照明光学器件,-具有这种透镜系统的微光刻投影曝光设备,用于制造具有该光学系统的微电子部件的方法。使用这种投影曝光设备以及通过该方法生产的这种组件