一种用于曝光机对准的光罩及光罩对准标记制作方法

摘要

本发明公开了一种用于曝光机对准的光罩及光罩对准标记制作方法，用以解决现有技术中由于光罩更换过程中由于光罩对准不准确，影响曝光产品的精度的问题。该光罩包括第一组对准标记，第二组对准标记和第三组对准标记中的至少两组，每组对准标记位于经过光罩中心点的横轴和纵轴上。由于在本发明实施例中该用于曝光机台校准的光罩包括至少两组对准标记，因此扩大了采用该光罩进行对准的曝光机台的范围，减小了在每次曝光过程中更换光罩的可能性，从而降低了曝光过程中产生的误差，提高了曝光产品的精度。