紫外与深紫外光学薄膜元件双波长激光荧光光谱仪

摘要

紫外与深紫外光学薄膜元件双波长激光荧光光谱仪涉及光学薄膜元件应用技术领域，包括：ArF激光激发模块、KrF激光激发模块、样品室、荧光探测模块和实验同步控制模块；ArF激光激发模块和KrF激光激发模块发射并传输激光，入射至样品室的样品表面，产生荧光；样品被激发所产生的荧光从样品室出射，入射至荧光探测模块进行光谱分光，并被光电探测器探测，将荧光信号转换成电信号，发送至实验同步控制模块。本发明采用ArF激光和KrF激光两种激光作为激发光源，提高了紫外与深紫外荧光光谱探测的灵敏度，可以满足紫外与深紫外波段光学薄膜弱荧光光谱测试需要。