波长可调谐深紫外窄带光源模块的设计及验证

摘要

本文提出了一种中心波长连续可调的光源模块,实现了深紫外光源的窄带输出.设计的光源模块由氘灯、角度旋转台、滤光片旋转轮、不同中心波长的滤光片(220 nm,230 nm,240 nm,250 nm,260 nm,270 nm,280 nm)和光学透镜组成.基于多光束干涉理论,通过分析出射光的中心波长和入射角度之间的关系,得到了由每个滤光片出射的中心波长和角度旋转台旋转角度之间的定标关系式.实验结果表明,当角度旋转台入射角范围在0～30°时,每个滤波片的可调谐范围可达到10 nm,实现紫外光源模块的单色光可调谐范围212 nm～280 nm,能满足海水中硝酸盐浓度的测量要求.