法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-11-24
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B24B49/18 申请公布日:20120620 申请日:20111102
发明专利申请公布后的驳回
2014-06-04
专利申请权的转移 IPC(主分类):B24B49/18 变更前: 变更后: 登记生效日:20140509 申请日:20111102
专利申请权、专利权的转移
2014-06-04
实质审查的生效 IPC(主分类):B24B49/18 申请日:20111102
实质审查的生效
2012-06-20
公开
公开
机译: 化学机械抛光设备中的抛光垫修整器
机译: 化学机械抛光设备中的抛光垫修整器
机译: 化学机械抛光(CMP)设备中的垫修整器