用于光伏器件应用的改善的硅薄膜沉积

摘要

本发明提供一种用于半导电金属层的在线沉积的成本有效的方法。更具体而言，本发明提供一种在浮法玻璃生产工艺中用于p型半导电金属层、n型半导电金属层和i型半导电金属层的沉积的在线热解沉积方法。另外，本发明提供一种用于单结p-(i-)n型与n-(i-)p型半导电金属层、双结p-(i-)n型与n-(i-)p型半导电金属层、三结p-(i-)n型与n-(i-)p型半导电金属层和多结p-(i-)n型与n-(i-)p型半导电金属层的生产的在线热解沉积方法。这种p型半导电金属层、n型半导电金属层和i型半导电金属层在光伏工业中是有用的并且对作为“增值的”产品的光伏模块的制造商是有吸引力的。