法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-12-23
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01J65/04 申请公布日:20120411 申请日:20110729
发明专利申请公布后的驳回
2012-05-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J65/04 申请日:20110729
实质审查的生效
2012-04-11
公开
公开
机译: 感应耦合等离子体天线单元,感应耦合等离子体处理装置以及感应耦合等离子体处理方法
机译: 感应耦合等离子体天线单元,感应耦合等离子体处理装置以及感应耦合等离子体处理方法
机译: 具有高密度的均匀等离子体密度分布的感应耦合等离子体天线,不会造成损伤,并且具有相同特性的感应耦合等离子体处理设备