在半导体衬底的表面上实行电化学反应的装置及方法

摘要

本发明涉及一种在半导体衬底(S)的表面上实行电化学反应的装置，其特征在于该装置包含：用于容纳电解质(E)的容器(10)；配置在该容器内的支承件(20)，该支承件适用于使半导体衬底(S)接附至该支承件(20)上；配置在该容器(10)内的相对电极(30)；照明构件(50)，其包含发出光线的源(51)与使光线均匀分散在所有该半导体衬底(S)表面上的构件(52)，以激活该半导体衬底(S)的表面；以及电力供应器(40)，其包含用于连接半导体衬底并连接相对电极的连接构件，以便能够在使电化学反应发生的电位极化该半导体衬底(S)的该表面。本发明还涉及在对应的半导体衬底的表面上实行电化学反应的方法。