公开/公告号CN100358080C
专利类型发明授权
公开/公告日2007-12-26
原文格式PDF
申请/专利权人 兰姆研究公司;
申请/专利号CN01816884.1
发明设计人 布赖恩·K·迈克米林;罗伯特·诺普;
申请日2001-09-26
分类号H01J37/32(20060101);
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人付建军
地址 美国加利福尼亚
入库时间 2022-08-23 09:00:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-09-17
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 37/32 授权公告日:20071226 终止日期:20180926 申请日:20010926
专利权的终止
2007-12-26
授权
授权
2007-12-26
授权
授权
2004-03-17
实质审查的生效
实质审查的生效
2004-03-17
实质审查的生效
实质审查的生效
2004-01-14
公开
公开
2004-01-14
公开
公开
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机译: 使用反应溅射工艺在处理室中涂覆衬底的表面,包括将惰性气体和反应性气体供应到处理室中,并利用交流电操作与衬底相对的双磁控管
机译: 用于用金属涂层涂覆衬底的等离子体涂覆工艺,尤其是等离子体辅助化学气相沉积工艺,包括将衬底暴露在反应室中以处理流过该室的气体
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